組成傾斜構造とAr圧がZrN/Zr/ZrO_2とZrN/ZrO_2膜の硬さ及び付着力に与える影響
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概要
著者
-
南戸 秀仁
金沢工業大学・ものづくり研
-
草野 英二
金沢工業大学
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菊地 直人
産業技術総合研究所エレクトロニクス研究部門
-
菊地 直人
金沢工業大学AMS R&D C
-
金原 粲
金沢工業大学AMS R&D C
-
沢平 嘉浩
金沢工業大学AMS R&D DC
-
一山 正則
金沢工業大学 AMS R&D C
-
北河 勝
金沢工業大学 高度材料科学研究開発センター
-
佐藤 彰繁
金沢工業大学 高度材料科学研究開発センター
-
南戸 秀仁
金沢工業大学
-
北河 勝
金沢工業大学amsrc
-
黒田 靖信
金沢工業大学AMSRC
-
沢平 嘉浩
金沢工業大学ams R&d Dc
-
金原 粲
金沢工業大学
-
佐藤 彰繁
金沢工業大学amsrc
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一山 正則
金沢工業大学 Ams R & D C
-
沢平 嘉浩
金沢工業大学 A MSR & DC
-
佐藤 彰繁
金沢工業大学 A MSR & DC
-
菊地 直人
金沢工業大学 A MSR & DC
-
北河 勝
金沢工業大学 A MSR & DC
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