AIドープZnOスパッタ薄膜を用いた"におい"センサ

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概要

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スパッタ法で作成した酸化亜鉛(ZnO)薄膜ガスセンサの各種ガスに対する感応特性を評価するとともに、特性のZnO薄膜へのAI添加効果を調べた。その結果、AIをドープすることによりセンサ素子のTMAやDMAなどのアミン系ガスに対する感度と選択性が増大することが明らかとなった。また、本ガスセンサ素子を用いた魚介類に対する鮮度センサの可能性の評価ならびに本ガスセンサ素子の各種ガスに対する過渡応答特性の特徴を表現するパラメータを用い、ニューラルネットワークパターン認識法を組み合わせた"におい"識別センサシステムの可能性の評価を行った。その結果、いずれの場合も十分可能であることがわかった。
社団法人電子情報通信学会の論文
1993-09-16

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