菊地 直人 | 産業技術総合研究所エレクトロニクス研究部門
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概要
関連著者
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菊地 直人
産業技術総合研究所エレクトロニクス研究部門
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草野 英二
金沢工業大学
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菊地 直人
金沢工業大学AMS R&D C
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金原 粲
金沢工業大学AMS R&D C
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金原 粲
金沢工業大学
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菊地 直人
金沢工業大学 A MSR & DC
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南戸 秀仁
金沢工業大学・ものづくり研
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金原 粲
東京大学生産技術研究所
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南戸 秀仁
金沢工業大学
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草野 英二
金沢工業大学・高度材料科学研究開発センター
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沢平 嘉浩
金沢工業大学AMS R&D DC
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沢平 嘉浩
金沢工業大学ams R&d Dc
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沢平 嘉浩
金沢工業大学 A MSR & DC
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福島 和宏
東レ(株) 滋賀事業所
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福島 和宏
金沢工業大学 AMS R&D C
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金原 粂
金沢工業大学・高度材料科学研究開発センター
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佐藤 彰繁
金沢工業大学 高度材料科学研究開発センター
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佐藤 彰繁
金沢工業大学amsrc
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佐藤 彰繁
金沢工業大学 A MSR & DC
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草野 英二
金沢工大 高度材料科学研開セ
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斉藤 隆義
金沢工業大学高度材料科学研究開発センター
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小林 俊起
金沢工業大学ams R & D C
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斉藤 隆義
金沢工業大学ams R & D C
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斉藤 隆義
金沢工業大学 高度材料科学研究開発センター
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一山 正則
金沢工業大学 AMS R&D C
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彩木 傑
金沢工業大学AMS R & D C
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一山 正則
金沢工業大学 Ams R & D C
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彩木 傑
金沢工業大学ams R & D C
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彩木 傑
金沢工業大学 高度材料科学研究開発センター
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北河 勝
金沢工業大学 高度材料科学研究開発センター
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南戸 秀仁
金沢工業大学・工学研究科
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北河 勝
金沢工業大学amsrc
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北河 勝
金沢工業大学 A MSR & DC
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林 利江
金沢工業大学高度材料科学研究開発センター
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津田 和朗
金沢工業大学AMS R&D C
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津田 和朗
金沢工業大学ams R&d C
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菊地 直人
産業技術総合研究所
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菊池 直人
金沢工業大学高度材料科学研究開発センター
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金原 〓
金沢工業大学高度材料科学研究開発センター
-
南戸 秀人
金沢工業大学高度材料科学研究開発センター
-
岸尾 悦郎
金沢工業大学高度材料科学研究開発センター
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池田 佳広
金沢工業大学AMS R & D C
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松井 慎
金沢工業大学 AMS R&D C
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柏木 昇
金沢工業大学 Ams R&d C
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黒田 靖信
金沢工業大学AMSRC
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筒井 光雄
金沢工業大学AMS R & D C
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松井 慎
金沢工業大学 Ams R&d C
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池田 佳広
金沢工業大学ams R & D C
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筒井 光雄
金沢工業大学ams R & D C
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池田 佳広
金沢工業大学 高度材料科学研究開発センター
著作論文
- スパッタリング成膜における薄膜構造制御
- ポリイミド・ターゲットのスパッタリングによる薄膜作製
- ポリテトラフルオロエチレン/金属系多層薄膜における界面エネルギーの内部応力と硬さに与える影響
- 高周波マグネトロンスパッタリング法を用いた低誘電性有機薄膜の作製
- Al/TiN多層薄幕の微小押し込み硬さ試験によるエネルギー的解析
- タッチパネル用SnO_2:Nb透明導電性薄膜の作製とその評価
- 大気圧空気バリア放電における駆動周波数とバリア層の静電容量の比の適正化
- 大気圧バリア放電におけるコロナ-グロー混在状態の定量評価
- 多層膜の応力
- ポリイミドフィルムのスパッタリングにおける放電ガスへのN_2の添加効果
- スパッタリング用プラズマ
- TiスパッタリングにおけるTiのイオン分率
- 組成変調型多層構造薄膜における高強度化機構の実験的検証
- Al, Cu-TiN薄膜の押し込み試験における変形への多層化の影響
- 微小押し込み硬さ試験によるAl/TiNおよびCu/TiN二層薄膜の変形挙動の検討
- 二元交互スパッタリング法を用いたTiC-C系多層薄膜の作製
- 多層構造薄膜のナノインデンテーション
- 薄膜の付着評価法 (特集1 試験・測定技術)
- 組成変調したTi-TiN多層薄膜における高強度化機構
- Al/TiN2層薄膜の微小押し込み硬さ試験におけるエネルギー散逸
- 組成変調したTiN-Ti多層薄膜の構造と硬さおよび内部応力
- 組成傾斜構造とAr圧がZrN/Zr/ZrO_2とZrN/ZrO_2膜の硬さ及び付着力に与える影響
- Al/TiN多層薄膜の微小押し込み硬さ試験におけるエネルギー散逸
- 固体炭素源を用いた2元交互スパッタリングによるTiC薄膜の作製
- 高周波支援マグネトロンスパッタリング法におけるAr^+及びTi^+のエネルギー分布のAr圧力依存性
- 高周波支援マグネトロンスパッタリング法におけるAr^+及びTi^+のエネルギー分布のコイル自己バイアス依存性
- 高周波支援マグネトロンスパッタリング法におけるAr^+及びTi^+のエネルギー分布のカソード電力依存性
- 電荷-電圧リサージュ法と表面電荷図形法を併用したコロナ-グロー放電遷移特性の評価
- ITO薄膜のキャリア輸送現象に対するフォノン散乱の寄与
- The 10th International Symposium on Sputtering and Plasma Processes (ISSP2009)