菊地 直人 | 産業技術総合研究所

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概要

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関連著者

• 菊地 直人

  産業技術総合研究所

• 菊地 直人

  産業技術総合研究所エレクトロニクス研究部門

• 草野 英二

  金沢工業大学

• 草野 英二

  金沢工業大学・高度材料科学研究開発センター

• 草野 英二

  金沢工大 高度材料科学研開セ

著作論文

• スパッタリング成膜における薄膜構造制御
• The 10th International Symposium on Sputtering and Plasma Processes (ISSP2009)
• 会議報告 The 10th International Symposium on Sputtering and Plasma Processes (ISSP2009)

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