福島 和宏 | 東レ(株) 滋賀事業所

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概要

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• 同名の論文著者
• 東レ(株) 滋賀事業所の論文著者

関連著者

• 草野 英二

  金沢工業大学

• 菊地 直人

  産業技術総合研究所エレクトロニクス研究部門

• 福島 和宏

  東レ(株) 滋賀事業所

• 南戸 秀仁

  金沢工業大学・ものづくり研

• 菊地 直人

  金沢工業大学AMS R&D C

• 金原 粲

  金沢工業大学AMS R&D C

• 福島 和宏

  金沢工業大学 AMS R&D C

• 南戸 秀仁

  金沢工業大学

• 金原 粲

  金沢工業大学

• 菊地 直人

  金沢工業大学 A MSR & DC

• 金原 粲

  東京大学生産技術研究所

• 草野 英二

  金沢工業大学・高度材料科学研究開発センター

• 斉藤 隆義

  金沢工業大学高度材料科学研究開発センター

• 斉藤 隆義

  金沢工業大学ams R & D C

• 斉藤 隆義

  金沢工業大学 高度材料科学研究開発センター

• 彩木 傑

  金沢工業大学AMS R & D C

• 小林 俊起

  金沢工業大学ams R & D C

• 彩木 傑

  金沢工業大学ams R & D C

• 彩木 傑

  金沢工業大学 高度材料科学研究開発センター

• 一山 正則

  金沢工業大学 AMS R&D C

• 一山 正則

  金沢工業大学 Ams R & D C

• 金原 粂

  金沢工業大学・高度材料科学研究開発センター

• 草野 英二

  金沢工大 高度材料科学研開セ

• 林 利江

  金沢工業大学高度材料科学研究開発センター

• 菊池 直人

  金沢工業大学高度材料科学研究開発センター

• 金原 〓

  金沢工業大学高度材料科学研究開発センター

• 池田 佳広

  金沢工業大学AMS R & D C

• 南戸 秀仁

  金沢工業大学・工学研究科

• 柏木 昇

  金沢工業大学 Ams R&d C

• 池田 佳広

  金沢工業大学ams R & D C

• 池田 佳広

  金沢工業大学 高度材料科学研究開発センター

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著作論文

• ポリイミド・ターゲットのスパッタリングによる薄膜作製
• 大気圧空気バリア放電における駆動周波数とバリア層の静電容量の比の適正化
• 大気圧バリア放電におけるコロナ-グロー混在状態の定量評価
• ポリイミドフィルムのスパッタリングにおける放電ガスへのN_2の添加効果
• スパッタリング用プラズマ
• TiスパッタリングにおけるTiのイオン分率
• 高周波支援マグネトロンスパッタリング法におけるAr^+及びTi^+のエネルギー分布のAr圧力依存性
• 高周波支援マグネトロンスパッタリング法におけるAr^+及びTi^+のエネルギー分布のコイル自己バイアス依存性
• 高周波支援マグネトロンスパッタリング法におけるAr^+及びTi^+のエネルギー分布のカソード電力依存性
• 電荷-電圧リサージュ法と表面電荷図形法を併用したコロナ-グロー放電遷移特性の評価

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