彩木 傑 | 金沢工業大学ams R & D C

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概要

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• 同名の論文著者
• 金沢工業大学ams R & D Cの論文著者

関連著者

• 南戸 秀仁

  金沢工業大学・ものづくり研

• 草野 英二

  金沢工業大学

• 金原 粲

  東京大学生産技術研究所

• 菊地 直人

  産業技術総合研究所エレクトロニクス研究部門

• 福島 和宏

  東レ(株) 滋賀事業所

• 菊地 直人

  金沢工業大学AMS R&D C

• 金原 粲

  金沢工業大学AMS R&D C

• 福島 和宏

  金沢工業大学 AMS R&D C

• 斉藤 隆義

  金沢工業大学高度材料科学研究開発センター

• 彩木 傑

  金沢工業大学AMS R & D C

• 南戸 秀仁

  金沢工業大学

• 金原 粲

  金沢工業大学

• 斉藤 隆義

  金沢工業大学ams R & D C

• 彩木 傑

  金沢工業大学ams R & D C

• 斉藤 隆義

  金沢工業大学 高度材料科学研究開発センター

• 彩木 傑

  金沢工業大学 高度材料科学研究開発センター

• 菊地 直人

  金沢工業大学 A MSR & DC

• 小林 俊起

  金沢工業大学ams R & D C

• 草野 英二

  金沢工業大学・高度材料科学研究開発センター

• 柏木 昇

  金沢工業大学 Ams R&d C

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著作論文

• TiスパッタリングにおけるTiのイオン分率
• 高周波支援マグネトロンスパッタリング法におけるAr^+及びTi^+のエネルギー分布のAr圧力依存性
• 高周波支援マグネトロンスパッタリング法におけるAr^+及びTi^+のエネルギー分布のコイル自己バイアス依存性
• 高周波支援マグネトロンスパッタリング法におけるAr^+及びTi^+のエネルギー分布のカソード電力依存性

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