Cu/TiN薄膜間の付着力に対するTi膜の効果

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概要

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著者

• 則武 千景

  (株)デンソー生産技術開発二部

• 石原 康生

  (株)デンソー生産技術開発二部

• 近藤 市治

  (株)デンソー生産技術開発二部

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