Cu/TiN薄膜間の接着層の効果
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概要
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- 1996-10-08
著者
-
草野 英二
金沢工大 高度材料科学研開セ
-
則武 千景
(株)デンソー生産技術開発二部
-
竹中 修
(株)デンソー生産技術開発二部
-
竹中 修
日本電装(株)生産技術開発二部
-
近藤 憲司
(株)デンソー生産技術開発二部
-
金原 粲
金沢工大
-
草野 英二
金沢工大
-
石原 康生
(株)デンソー生産技術開発二部
-
近藤 市治
(株)デンソー生産技術開発二部
-
則武 千景
日本電装(株)
-
石原 康生
日本電装(株)
-
近藤 市治
日本電装(株)
-
近藤 憲司
日本電装(株)
-
竹中 修
日本電装(株)
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