斎藤 一也 | 日本真空技術 (株) 超材料研究所

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概要

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• 同名の論文著者
• 日本真空技術 (株) 超材料研究所の論文著者

関連著者

• 斎藤 一也

  日本真空技術株式会社

• 斎藤 一也

  (株)アルバック筑波超材料研究所

• 塚原 園子

  アルバックテクノ(株)ケミカルセンター

• 稲吉 さかえ

  日本真空技術(株)筑波超材料研究所

• 稲吉 さかえ

  株式会社アルバック筑波超材料研究所

• 佐藤 幸恵

  日本真空技術(株)筑波超材研

• 金沢 実

  三愛プラント工業(株)ct事業本部

• 土佐 正弘

  金属材料技術研究所

• 野村 健

  三愛プラント工業株式会社 クリーンテック事業本部

• 鈴木 一弘

  川崎製鉄(株)技術研究所

• 笠原 章

  金属材料技術研究所

• 吉原 一紘

  金属材料技術研究所

• 石川 順三

  京都大学大学院工学研究科電子物性工学専攻

• 吉森 昭夫

  岡山理科大学

• 関根 重幸

  電子技術総合研究所

• 木内 正人

  大阪工業技術研究所

• 佐久間 泰

  ダイゴールド株式会社

• 板倉 明子

  金属材料技術研究所

• 伊藤 昭夫

  日本真空技術(株)

• 後藤 康仁

  京都大学大学院工学研究科

• 三沢 俊司

  日本真空技術(株)筑波超材料研究所

• 一村 信吾

  電子技術総合研究所

• 岡本 昭夫

  大阪府立産業技術総合研究所

• 美馬 宏司

  大阪市立大学

• 鈴木 晶雄

  大阪産業大学工学部電子情報通信工学科

• 松下 辰彦

  大阪産業大学工学部電子情報通信工学科

• 本島 修

  核融合科学研究所

• 山下 学

  日立製作所 デバイス開発センター

• 大坂 次郎

  Nttフォトニクス研究所

• 大島 義文

  東京工業大学大学院総合理工学研究科

• 金子 英司

  東洋大学工学部

• 加藤 茂樹

  高エネルギー加速器研究機構

• 草野 英二

  金沢工業大学

• 久保 和也

  北海道大学工学部

• 鈴木 晶雄

  大阪産業大学工学部電気電子工学科

• 坂本 吉亮

  大阪産業大学工学部電気電子工学科

• 和田 直己

  大阪産業大学工学部電気電子工学科

• 奥田 昌宏

  大阪府立大学工学部電子物理工学科

• 松下 辰彦

  大阪産業大学工学部電気電子工学科

• 井口 征夫

  川崎製鉄(株)技術研究所

• 高橋 夏木

  日本真空技術(株)産業機器事業部

• 大久保 治

  日本真空技術(株)産業機器事業部

• 斎藤 和雄

  名古屋工業技術研究所

• 吉越 章隆

  日本原子力研究所・関西研究所・放射光科学研究センター

• 田中 虔一

  埼玉工業大学大学院工学研究科

• 水谷 五郎

  北陸先端科学技術大学院大学材料科学研究科

• 鈴木 芳生

  日立製作所中央研究所

• 木村 康男

  東北大学電気通信研究所

• 庭野 道夫

  東北大学電気通信研究所

• 清水 肇

  電子技術総合研究所

• 麻蒔 立男

  東京理科大学・工学部

• 小林 康宏

  川崎製鉄(株)技術研究所

• 永井 稔

  北陸先端科学技術大学院大学材料科学研究科

• 富取 正彦

  北陸先端科学技術大学院大学材料科学研究科

• 畑村 洋太郎

  東京大学工学部

• 村上 寛

  電子技術総合研究所

• 辻 博司

  京都大学大学院工学研究科電子物性工学専攻

• 荒木 康弘

  静大電子研

• 福谷 克之

  東京大学生産技術研究所

• 北島 正弘

  金属材料技術研究所

• 広畑 優子

  北海道大学大学院工学研究科

• 福谷 克之

  東大生産技術研

• 加地 博子

  岡山理科大学工学部

• 上田 新次郎

  株式会社日立製作所機械研究所

• 石川 雄一

  株式会社日立製作所機械研究所

• 齊藤 芳男

  高エネルギー加速器研究機構加速器研究施設

• 中山 勝矢

  広島工業大学

• 伴野 達也

  東京大学

• 山本 節夫

  山口大学工学部

• 栗巣 普揮

  山口大学工学部

• 松浦 満

  山口大学工学部

• 久松 広美

  高エネルギー加速器研究機構

• 黒河内 智

  理化学研究所

• 渡部 秀

  理化学研究所

• 金澤 健一

  高エネルギー加速器研究機構

• 末次 祐介

  高エネルギー加速器研究機構

• 嶋本 真幸

  高エネルギー加速器研究機構

• 白井 満

  高エネルギー加速器研究機構

• 本間 禎一

  千葉工業大学工学部

• 西脇 みちる

  総合研究大学院大学数物科学研究科

• 佐藤 政行

  高エネルギー加速器研究機構

• 山本 顕弘

  総合研究大学院大学数物科学研究科

• 赤石 憲也

  核融合科学研究所

• 竹内 孝江

  奈良女子大学

• 美本 和彦

  大阪大学大学院工学研究科超高温理工学研究施設

• 松本 貴士

  大阪大学大学院工学研究科超高温理工学研究施設

• 魯 大凌

  東京工業大学資源化学研究所, CREST

• 小島 昭

  群馬工業高等専門学校

• 戸坂 亜希

  学習院大学理学部

• 五十嵐 慎一

  学習院大学理学部

• 平山 孝人

  学習院大学理学部

• 井口 大介

  学習院大学理学部

• 谷内 友希子

  (財)高輝度光科学研究センター

• 加藤 隆男

  株式会社荏原総合研究所精密電子研究所

• 高木 祥示

  東邦大学理学部

• 和佐 清孝

  横浜市立大学理学部

• 柿原 和久

  高エネルギー加速器研究機構

• 麻蒔 立男

  東京理科大学工学部・電気工学科

• 関口 敦

  日電アネルバ

• 加藤 正明

  群馬工業高等専門学校

• 久保田 雄輔

  核融合科学研究所

• 斉藤 芳男

  高エネルギー物理学研究所

• 永井 康睦

  日立電線(株)システムマテリアル研究所

• 菊地 直人

  金沢工業大学AMS R&D C

• 金原 粲

  金沢工業大学AMS R&D C

• 福島 和宏

  金沢工業大学 AMS R&D C

• 池田 佳広

  金沢工業大学AMS R & D C

• 彩木 傑

  金沢工業大学AMS R & D C

• 佐野 睦

  日本原子力研究所

• 市川 昌和

  アトムテクノロジー研究体

• 大谷 和男

  大阪工業技術研究所

• 関根 重幸

  産業技術総合研究所

• 関根 重幸

  産総研

• 佐藤 弘子

  京都大学大学院工学研究科電子物性工学専攻

• 伴野 達也

  東京大学大学院工学系研究科物理工学専攻

• 道園 真一郎

  高エネルギー加速器研究機構

• 中川 行人

  日電アネルバ株式会社研究開発本部

• 後藤 哲二

  東邦大学理学部

• 大塚 康二

  サンケン電気

• 田中 武

  広島工業大学

• 矢部 勝昌

  北海道工業技術研究所

• 中川 行人

  アネルバ株式会社装置事業部第一製品技術グループ

• 関川 健太郎

  埼玉大学

• 川畑 敬志

  広島工業大学

• 高橋 善和

  日本真空技術株式会社筑波超材料研究所

• 田村 繁治

  大阪工業技術研究所

• 南戸 秀仁

  金沢工業大学

• 沖村 邦雄

  東海大学工学部電子工学科

• 本間 芳和

  Ntt物性基礎研

• 浅野 清光

  秋田高専

• 福田 茂樹

  高エネルギー加速器研究機構

• 穴見 昌三

  高エネルギー物理学研究所

• 林 和孝

  三菱電機通信機製作所

• 小川 倉一

  大阪府立産業技術総合研究所

• 井上 成美

  防衛大学校

• 柏原 茂

  防衛大学校

• 尾崎 立哉

  防衛大学校

• 戸嶋 成忠

  防衛大学校

• 吉田 貞史

  電子技術総合研究所

• 三沢 俊司

  (株)アルバック筑波超材料研究所

• 浅野 清光

  高エネルギー加速器研究機構

• 棚橋 克人

  大阪府立大学先端科学研究所

• 工藤 勲

  電子技術総合研究所

• 小林 信一

  埼玉大学

• 安達 俊

  学習院大学理学部

• 見附 孝一郎

  分子科学研究所

• 関 孝男

  学習院大学理学部

• 阿部 彰雄

  学習院大学理学部

• 栗山 大人

  学習院大学理学部

• 日置 亜也子

  大阪府立産業技術総合研究所

• 柿原 和久

  高エネルギー物理学研究所

• 大田 暢彦

  (株)安川電機 開発研究所

• 高橋 直樹

  日本真空技術(株)

• 辻 泰

  (株)アルバック・コーポレートセンター

• 秋道 斉

  (株)アルバック・コーポレートセンター

• 竹内 協子

  (株)アルバック・コーポレートセンター

• 荒井 孝夫

  (株)アルバック・コーポレトーセンター

• 田中 智成

  (株)アルバック・コーポレトーセンター

• 東野 徒士之

  大阪府立大学先端科学研究所

• 菊池 通真

  大阪府立大学先端科学研究所

• 橋場 正男

  北海道大学工学部

• 山科 俊郎

  北海道大学工学部

• 潮田 資勝

  北陸先端科学技術大学院大学

• 水野 茂

  アネルバ株式会社装置事業部第一製品技術グループ

• 池田 省三

  金属材料技術研究所

• 蟹江 壽

  東京理科大学

• 渡辺 一弘

  日本真空技術(株)

• 広畑 優子

  北海道大学工学部

• 関根 重幸

  東京工業大学資源化学研究所

• 関根 重幸

  (独)産業技術総合研究所技術情報部門

• 北原 武

  北陸先端科学技術大学院大学材料科学研究科

• 田中 英樹

  北陸先端科学技術大学院大学材料科学研究科

• 脇本 裕之

  北陸先端科学技術大学院大学材料科学研究科

• 戸部 了己

  日電アネルバ株式会社

• 佐々木 雅夫

  日電アネルバ株式会社

• 岡田 修

  日電アネルバ株式会社

• 細川 直吉

  日電アネルバ株式会社

• 佐々木 雅夫

  アネルバ株式会社

• 永関 一也

  山梨大学工学部

• 楠 秀樹

  山梨大学工学部

• 斉藤 幸典

  山梨大学工学部

• 菅ノ又 伸治

  山梨大学工学部

• 石川 稜威男

  山梨大学工学部

• 大手 丈夫

  群馬工業高等専門学校

• 伊佐 弘

  大阪工業大学

• 茶谷原 昭義

  大阪工業技術研究所

• 阪口 享

  大阪工業技術研究所

• 高柳 邦夫

  東京工業大学

• 泉 順

  群馬工業高等専門学校電子情報工学科

• 根岸 恒雄

  群馬工業高等専門学校

• 藤井 隆満

  (株)セントラル硝子

• 橘内 浩之

  日立製作所 機械研究所

• 上條 栄治

  龍谷大学理工学部

• 本間 芳和

  Ntt物性科学基礎研究所

• 桜井 誠

  神戸大学理学部

• 遠藤 和弘

  電子技術総合研究所

• 市川 洋

  松下中央研究所

• 瀬恒 謙太郎

  松下中央研究所

• 吉岡 捷爾

  香川大学

• 吉岡 捷爾

  高松工業高等専門学校電気工学科

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著作論文

• 〔座談会〕 これからの真空科学とその応用
• ステンレス鋼に成膜した真空材料としてのTiN膜の特性と評価
• 化学研磨したステンレス鋼のガス放出特性
• 真空材料向け化学研磨によるアルミニウム合金の表面処理
• アルミニウム合金の低ガス放出表面処理
• 流路切り替え法によるアルミニウム合金からの水の放出速度測定
• 流路切り替え法によるステンレス鋼チャンバーのガス放出特性評価
• 流路切り替え法によるガス放出速度測定
• 電解研磨ステンレス鋼のガス放出特性と表面分析
• 超短波帯プラズマ化学気相成長法によるSiNx膜の作製
• シリコン膜で表面を被覆したステンレス鋼のガス放出特性
• 極高真空用材料の真空特性
• 真空材料からのガス放出
• TiN 成膜したステンレス鋼の水素透過特性 (II)
• 各種表面処理ステンレス鋼の昇温脱離特性
• XHVスループット装置を用いたステンレス鋼チェンバーからのガス放出特性
• TiN成膜したステンレス箔の水素透過特性評価
• 2A06 JT-60第一壁保護膜の開発
• サマリー・アブストラクト
• サマリー・アブストラクト
• Ti-N薄膜のガス放出特性-1- (第29回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス)
• タイトル無し

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