Ti-N薄膜のガス放出特性-1- (第29回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス)
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概要
著者
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斎藤 一也
日本真空技術株式会社
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伊藤 昭夫
日本真空技術(株)
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塚越 清美
日本真空技術(株)筑波超材料研究所
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塚原 園子
日本真空技術
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中川 利春
日本真空技術 超材研
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塚原 園子
日本真空技術 (株) 超材料研究所
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稲川 幸之助
日本真空技術 (株) 超材料研究所筑波研究所
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高 衛
中国科学院北京真空物理研究室, 現在日本真空超材料研究所滞在中
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尾上 公正
日本真空技術 (株) 超材料研究所
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松岡 新吾
日本真空技術 (株) 超材料研究所
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関野 一仁
日本真空技術 (株) 超材料研究所
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塚越 清美
日本真空技術 (株) 超材料研究所
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斎藤 一也
日本真空技術 (株) 超材料研究所
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稲川 幸之助
日本真空技術 (株) 超材料研究所
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中川 利春
日本真空技術 (株) 超材料研究所
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