尾上 公正 | 日本真空技術 (株) 超材料研究所
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概要
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中川 利春
日本真空技術 (株) 超材料研究所
著作論文
- TiN成膜したステンレス箔の水素透過特性評価
- Ti-N薄膜のガス放出特性 (III)
- Ti-N薄膜のガス放出特性と膜構造
- Ti-N薄膜のガス放出特性-1- (第29回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス)