稲吉 さかえ | 株式会社アルバック筑波超材料研究所

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概要

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• 株式会社アルバック筑波超材料研究所の論文著者

関連著者

• 稲吉 さかえ

  株式会社アルバック筑波超材料研究所

• 塚原 園子

  アルバックテクノ(株)ケミカルセンター

• 斎藤 一也

  (株)アルバック筑波超材料研究所

• 塚原 園子

  産業技術総合研究所

• 塚原 園子

  日本真空技術 筑波超材研

• 斉藤 一也

  日本真空技術 筑波超材研

• 稲吉 さかえ

  日本真空技術(株)筑波超材料研究所

• 塚原 園子

  日本真空技術(株)

• 塚原 園子

  日本真空技術

• 稲吉 さかえ

  日本真空技術 (株) 超材料研究所

• 斎藤 一也

  日本真空技術株式会社

• 斎藤 一也

  日本真空技術 (株) 超材料研究所

• 池田 佳直

  日本真空技術株式会社筑波超材料研究所

• 石澤 克修

  三愛プラント工業株式会社 クリーンテック事業本部

• 池田 佳直

  日本真空(株)筑波超材研

• 金沢 実

  三愛プラント工業(株)ct事業本部

• 佐藤 幸恵

  日本真空技術(株)筑波超材研

• 野村 健

  三愛プラント工業株式会社 クリーンテック事業本部

• 石榑 文昭

  株式会社アルバック筑波超材料研究所

• 三沢 俊司

  (株)アルバック筑波超材料研究所

• 稲吉 さかえ

  (株)アルバック筑波超材料研究所

• 石澤 克修

  三愛石油(株)

• 野村 健

  三愛石油(株)

• 楊 一新

  日本真空技術株式会社筑波超材料研究所

• 楊 一新

  日本真空技術(株) 超材研

• 稲吉 さかえ

  株式会社アルバック 筑波超材料研究所

• 角谷 透

  ナノテック

• 三沢 俊司

  日本真空技術(株)筑波超材料研究所

• 嶋田 晃久

  三愛石油(株)

• 金澤 実

  三愛プラント工業(株)

• 嶋田 晃久

  三愛石油(株)ct研究室

• 稲吉 さかえ

  株式会社アルバック

• 田中 彰博

  アルバック・ファイ(株)

• 佐藤 洋志

  アルバックテクノ(株)ケミカルセンター

• 石川 裕一

  アルバックテクノ(株)ケミカルセンター

• 大塚 芳郎

  日本真空技術筑波超材料研究所

• 谷内 友希子

  (財)高輝度光科学研究センター

• 金原 粲

  金沢工業大学AMS R&D C

• 権藤 麻衣子

  株式会社アルバック筑波超材料研究所

• 三浦 豊

  株式会社アルバック電子機器事業部

• 小方 誠司

  株式会社アルバック半導体電子技術研究所

• 高橋 善和

  (株)アルバック筑波超材料研究所

• 中村 弘幸

  アルバックテクノ(株)ケミカルセンター

• 角谷 透

  (株)船井電機新応用技術研究所

• 塚原 園子

  日本真空技術(株)筑波超材料研究所

• 塚原 園子

  アルバックテクノ(株)

• 天野 繁

  日本真空技術株式会社

• 天野 繁

  日本真空技術(株)超高(事)

• 田中 彰博

  アルバック・ファイ株式会社

• 原 泰博

  日本真空技術(株)超高(事)

• 金沢 実

  三愛石油(株)

• 谷内 友希子

  日本真空技術(株)筑波超材料研

• 尾上 公正

  ウチヤ.サーモスタット(株)

• 尾上 公正

  日本真空技術(株)筑波超材料研究所

• 金原 粲

  金沢工業大学

• 金原 粲

  金沢工業大学高度材料科学研究開発センター

• 高橋 善和

  (株)アルバック半導体技術研究所

• 大塚 芳郎

  日本真空技術(株)筑波超材料研究所

• 原 泰博

  日本真空技術 (株)

• 尾上 公正

  日本真空技術 (株) 超材料研究所

• 田中 彰博

  アルバック・ファイ (株)

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著作論文

• 熱電対を用いた原子状酸素の再結合係数測定装置の開発
• 真空装置用アルマイト処理
• 真空用Al合金の表面酸化膜構造とガス放出特性
• 化学研磨したステンレス鋼のガス放出特性
• 真空材料向け化学研磨によるアルミニウム合金の表面処理
• アルミニウム合金の低ガス放出表面処理
• 流路切り替え法によるステンレス鋼チャンバーのガス放出特性評価
• 流路切り替え法によるガス放出速度測定
• アルミニウム合金に対する低ガス放出で耐食性がある表面処理 スーパーアルピカ/Super ALpika (特集:表面処理技術新たな挑戦)
• 電解研磨ステンレス鋼のガス放出特性と表面分析
• シリコン-炭素成膜によるステンレス鋼の水放出速度低減化
• シリコン膜で表面を被覆したステンレス鋼のガス放出特性
• 超高真空から極高真空まで使えるアルミニウム合金の表面処理アルピカ/ALpika (特集:表面技術最新情報)
• TiN 成膜したステンレス鋼の水素透過特性 (II)
• 各種表面処理ステンレス鋼の昇温脱離特性
• XHVスループット装置を用いたステンレス鋼チェンバーからのガス放出特性
• TiN成膜したステンレス箔の水素透過特性評価
• マイクロアーク酸化処理をしたアルミニウム合金のガス放出特性
• 表面から放出される気体の分析 —昇温脱離法—
• シリコン-炭素成膜によるステンレス鋼の水放出速度低減化
• 真空装置用の表面処理とその気体放出特性

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