高橋 善和 | (株)アルバック半導体技術研究所

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• 高橋 善和

  (株)アルバック筑波超材料研究所

• 高橋 善和

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• 塚原 園子

  アルバックテクノ(株)ケミカルセンター

• 佐藤 洋志

  アルバックテクノ(株)ケミカルセンター

• 石川 裕一

  アルバックテクノ(株)ケミカルセンター

• 益 一哉

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• 稲吉 さかえ

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• 入倉 鋼

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著作論文

• 蒸着重合法による抗菌性ポリイミド薄膜の作製
• 真空装置用アルマイト処理
• MPA (methylpyrrolidine alane)を用いたAl CVD技術

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