石川 道夫 | (株)アルバック半導体技術研究所
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概要
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石川 道夫
(株)アルバック半導体技術研究所
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石川 道夫
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著作論文
- MRAM(Magnetic Random Access Memory)高温エッチング技術の開発(新型不揮発性メモリー)
- MPA (methylpyrrolidine alane)を用いたAl CVD技術