山本 直志 | 株式会社 アルバック 筑波超材料研究所

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• 山本 直志

  株式会社アルバック筑波超材料研究所

• 山本 直志

  株式会社 アルバック 筑波超材料研究所

• 森田 正

  株式会社 アルバック 筑波超材料研究所

• 山本 直志

  日本真空技術(株)筑波超材料研究所

• 松浦 正道

  日本真空・超材研

• 松浦 正道

  (株)アルバック筑波超材料研究所

• 倉内 利春

  日本真空技術(株)筑波超材研

• 松浦 正道

  日本真空技術(株)超材料研究所

• 松浦 正道

  日本真空技術 筑波超材料研

• 森田 正

  日本真空技術(株)筑波超材研

• 倉内 利春

  日本真空技術 (株) 超材料研究所

• 松浦 正道

  日本真空技術 (株) 超材料研究所

• 三沢 俊司

  株式会社 アルバック 筑波超材料研究所

• 小林 慶子

  株式会社 アルバック 筑波超材料研究所

• 小野 一修

  株式会社 アルバック 筑波超材料研究所

• 今北 健一

  株式会社 アルバック 筑波超材料研究所

• 村上 裕彦

  株式会社 アルバック 筑波超材料研究所

• 久保田 均

  東北大学大学院工学研究科応用物理学

• 矢尾板 和也

  東北大

• 上條 誠

  東北大学大学院工学研究科応用物理学専攻

• 新関 智彦

  東北大学大学院工学研究科応用物理学専攻

• 上篠 誠

  東北大学大学院工学研究科応用物理学

• 安藤 康夫

  東北大学工学研究科応用物理学専攻

• 安藤 康夫

  東北大学大学院工学研究科応用物理学専攻

• 宮崎 照宣

  東北大学原子分子材料科学高等研究機構(WPI)

• 宮崎 照宣

  東北大学大学院工学研究科応用物理学専攻

• 松田 七美男

  東京電機大学工学部物理系列

• 松田 七美男

  東京電機大学工学部環境物質化学科

• 斎藤 芳男

  高エネルギー物理学研究所

• 永井 康睦

  日立電線(株)システムマテリアル研究所

• 山本 佳紀

  日立電線(株)システムマテリアル研究所

• 松田 七美男

  電京電機大学工学部

• 小澤 正則

  (株)アルバック半導体技術研究所

• 斎藤 芳男

  高エネルギー加速器研究機構

• 三沢 俊司

  日本真空技術(株)筑波超材料研究所

• 今北 健一

  株式会社アルバック筑波超材料研究所

• 小林 慶子

  株式会社アルバック筑波超材料研究所

• 小野 一修

  株式会社アルバック筑波超材料研究所

• 森田 正

  株式会社アルバック筑波超材料研究所

• 三沢 俊司

  株式会社アルバック筑波超材料研究所

• 村上 裕彦

  株式会社アルバック筑波超材料研究所

• 宮崎 照宣

  東北大 原子分子材料科学高等研究機構

• 上條 誠

  東北大

• 村上 裕彦

  アルバック

• 山本 佳紀

  日立電線 システムマテリアル研

• 菊地 幸男

  (株)アルバック筑波超材料研究所

• 久保田 均

  東北大 工

• 安藤 康夫

  東北大 工

• 鄒 紅コウ

  アルバック半導体技術研究所

• 小風 豊

  (株)アルバック半導体技術研究所

• 山本 直志

  (株)アルバック筑波超材料研究所

• 鄒 紅コウ

  (株)アルバック半導体技術研究所

• 石川 道夫

  (株)アルバック半導体技術研究所

• 山川 洋幸

  (株)アルバック筑波超材料研究所

• 箱守 宗人

  日本真空技術(株)筑波超材料研究所

• 村上 裕彦

  株式会社アルバック 筑波超材料研究所

• 石川 道夫

  株式会社アルバック半導体技術研究所

• 鄒紅 コウ

  (株)アルバック半導体技術研究所

• 矢尾板 和也

  東北大学大学院工学研究科応用物理学専攻

• 新関 智彦

  東北大

• 安藤 康夫

  東北大学大学院工学研究科

• 永井 康睦

  日立電線(株)

• 宮崎 照宣

  東北大学大学院 工学研究科

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著作論文

• 無酸素銅ダクトの初期排気特性
• Mn_3Ir/Co-Fe積層膜のL1_2規則相形成に及ぼすスパッタガス種の影響(薄膜・微粒子・多層膜・人工格子)
• Mn-Ir/Co-Fe積層膜の構造と磁気特性に及ぼすスパッタガス種の影響
• MRAM(Magnetic Random Access Memory)高温エッチング技術の開発(新型不揮発性メモリー)
• 誘導結合rfプラズマ支援マグネトロンスパッタ法によるギャップ用AIN膜の作製
• 誘導結合rfプラズマ支援マグネトロンスパッタ法によるアルミナ膜の電気特性(II)
• 誘導結合rfプラズマ支援マグネトロンスパッタ法によるギャップ用AIN膜の作製
• 誘導結合rfプラズマ支援マグネトロンスパッタ法を用いたNiFe膜の電気特性
• 誘導結合rfプラズマ支援マグネトロンスパッタ法による極薄アルミナ膜の電気特性
• 誘導結合高周波プラズマ支援マグネトロンスパッタを用いた極薄アルミナ膜の作製
• 誘導結合高周波プラズマ支援マグネトロンスパッタ放電におけるイオンエネルギー分布
• 誘導結合rfプラズマ支援マグネトロンスパッタ法による極薄アルミナ膜電気特性
• 誘導結合rfプラズマ支援マグネトロンスパッタ法を用いたNiFe/Cu多層膜のGMR特性 (多層膜・人工格子・グラニューラー)
• ICP支援スパッタ法を用いたNiFe/Cu多層膜のMR特性
• 誘導結合高周波プラズマ支援多元マグネトロンスパッタ法を用いたTiO_2/SiO_2多層膜の作製
• 超高密度記録ハードディスク再生ヘッドに用いる極薄絶縁体のヘリコンスパッタ技術 (特集 ハードディスクドライブのトライボロジー)
• プラズマ酸化法による低抵抗強磁性トンネル接合の作製
• プラズマ酸化法による低抵抗強磁性トンネル接合の作製

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