誘導結合高周波プラズマ支援マグネトロンスパッタ放電におけるイオンエネルギー分布
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概要
著者
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森田 正
株式会社 アルバック 筑波超材料研究所
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山本 直志
日本真空技術(株)筑波超材料研究所
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山本 直志
株式会社アルバック筑波超材料研究所
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山本 直志
株式会社 アルバック 筑波超材料研究所
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松浦 正道
日本真空・超材研
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松浦 正道
日本真空技術(株)超材料研究所
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松浦 正道
(株)アルバック筑波超材料研究所
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松浦 正道
日本真空技術 筑波超材料研
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森田 正
日本真空技術(株)筑波超材研
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倉内 利春
日本真空技術(株)筑波超材研
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倉内 利春
日本真空技術 (株) 超材料研究所
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松浦 正道
日本真空技術 (株) 超材料研究所
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