誘導結合rfプラズマ支援マグネトロンスパッタ法によるギャップ用AIN膜の作製
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概要
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- 1998-09-01
著者
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森田 正
株式会社 アルバック 筑波超材料研究所
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山本 直志
日本真空技術(株)筑波超材料研究所
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山本 直志
株式会社アルバック筑波超材料研究所
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山本 直志
株式会社 アルバック 筑波超材料研究所
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松浦 正道
日本真空・超材研
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松浦 正道
日本真空技術(株)超材料研究所
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松浦 正道
(株)アルバック筑波超材料研究所
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松浦 正道
日本真空技術 筑波超材料研
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森田 正
日本真空技術(株)筑波超材研
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倉内 利春
日本真空技術(株)筑波超材研
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倉内 利春
日本真空技術 (株) 超材料研究所
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松浦 正道
日本真空技術 (株) 超材料研究所
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