鄒紅 コウ | (株)アルバック半導体技術研究所

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概要

• 同名の論文著者
• (株)アルバック半導体技術研究所の論文著者

関連著者

• 鄒 紅コウ

  アルバック半導体技術研究所

• 鄒紅 コウ

  (株)アルバック半導体技術研究所

• 菊地 真

  アルバック半導体技術研究所

• 木村 勲

  アルバック半導体技術研究所

• 西岡 浩

  アルバック半導体技術研究所

• 鄒 紅コウ

  (株)アルバック半導体技術研究所

• 小澤 正則

  (株)アルバック半導体技術研究所

• 山本 直志

  株式会社アルバック筑波超材料研究所

• 山本 直志

  株式会社 アルバック 筑波超材料研究所

• 松浦 正道

  日本真空・超材研

• 松浦 正道

  (株)アルバック筑波超材料研究所

• 菊地 幸男

  (株)アルバック筑波超材料研究所

• 西岡 浩

  株式会社アミノアップ化学

• 神保 武人

  アルバック半導体技術研究所

• 木村 勲

  株式会社アルバック半導体技術研究所

• 菊地 真

  株式会社アルバック半導体技術研究所

• 鄒 紅コウ

  株式会社アルバック半導体技術研究所

• 植田 昌久

  株式会社アルバック半導体技術研究所

• 遠藤 光広

  株式会社アルバック半導体技術研究所

• 小風 豊

  (株)アルバック半導体技術研究所

• 山本 直志

  (株)アルバック筑波超材料研究所

• 石川 道夫

  (株)アルバック半導体技術研究所

• 山川 洋幸

  (株)アルバック筑波超材料研究所

• 石川 道夫

  株式会社アルバック半導体技術研究所

• 遠藤 光広

  (株)アルバック 半導体技術研究所

• 植田 昌久

  (株)アルバック 半導体技術研究所

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著作論文

• スパッタ法によるLaAlO_3の成膜と電気特性の評価(ゲート絶縁膜、容量膜、機能膜及びメモリ技術)
• 高周波マグネトロンスパッタリング法によるPb(Zr, Ti)O_3圧電薄膜の量産技術
• MRAM(Magnetic Random Access Memory)高温エッチング技術の開発(新型不揮発性メモリー)
• 強誘電体キャパシタの高温エッチング開発(物性,成膜,加工,プロセス : 強誘電体薄膜とデバイス応用)

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