木村 勲 | アルバック半導体技術研究所

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概要

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• アルバック半導体技術研究所の論文著者

関連著者

• 木村 勲

  アルバック半導体技術研究所

• 神保 武人

  アルバック半導体技術研究所

• 菊地 真

  アルバック半導体技術研究所

• 西岡 浩

  株式会社アミノアップ化学

• 西岡 浩

  アルバック半導体技術研究所

• 木村 勲

  株式会社アルバック半導体技術研究所

• 菊地 真

  株式会社アルバック半導体技術研究所

• 増田 健

  株式会社アルバック半導体技術研究所

• 鄒 紅コウ

  アルバック半導体技術研究所

• 梶沼 雅彦

  株式会社アルバック半導体技術研究所

• 神保 武人

  株式会社アルバック半導体技術研究所

• 植田 昌久

  株式会社アルバック半導体技術研究所

• 遠藤 光広

  株式会社アルバック半導体技術研究所

• 小風 豊

  株式会社アルバック半導体技術研究所

• 鄒 紅〓

  株式会社アルバック半導体技術研究所

• 鄒紅 コウ

  (株)アルバック半導体技術研究所

• 鄒 紅コウ

  株式会社アルバック半導体技術研究所

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著作論文

• スパッタ法によるLaAlO_3の成膜と電気特性の評価(ゲート絶縁膜、容量膜、機能膜及びメモリ技術)
• 強誘電体MEMS用圧電素子成膜・エッチング技術 (特集 マイクロマシン/MEMSの量産を支える設計・製造技術) -- (製造技術編)
• 高周波マグネトロンスパッタリング法によるPb(Zr, Ti)O_3圧電薄膜の量産技術
• MOCVDによる強誘電体PZT薄膜キャパシタの作製 : 成膜安定性と前後プロセス依存性(新型不揮発性メモリ)
• MOCVDによる強誘電体PZT薄膜キャパシタの作製 : 成膜安定性と前後プロセス依存性

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