増田 健 | 株式会社アルバック半導体技術研究所

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概要

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関連著者

• 増田 健

  株式会社アルバック半導体技術研究所

• 鄒 紅〓

  株式会社アルバック半導体技術研究所

• 西岡 浩

  アルバック半導体技術研究所

• 宮口 有典

  日本真空技術株式会社 超材料研究所

• 鄒 紅〓

  日本真空技術株式会社超材料研究所

• 増田 健

  日本真空技術株式会社超材料研究所

• 西岡 浩

  日本真空技術株式会社超材料研究所

• Chu Fan

  Ramtron International Corp.

• 木村 勲

  アルバック半導体技術研究所

• 西岡 浩

  株式会社アミノアップ化学

• 神保 武人

  アルバック半導体技術研究所

• 木村 勲

  株式会社アルバック半導体技術研究所

• 菊地 真

  株式会社アルバック半導体技術研究所

• 梶沼 雅彦

  株式会社アルバック半導体技術研究所

• 神保 武人

  株式会社アルバック半導体技術研究所

• 植田 昌久

  株式会社アルバック半導体技術研究所

• 遠藤 光広

  株式会社アルバック半導体技術研究所

• 小風 豊

  株式会社アルバック半導体技術研究所

• 鄒 紅〓

  日本真空技術 (株)

• 菊地 真

  アルバック半導体技術研究所

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著作論文

• 強誘電体メモリ量産用強誘電体スパッタ技術
• 強誘電体メモリ量産用強誘電体スパッタ技術
• MOCVDによる強誘電体PZT薄膜キャパシタの作製 : 成膜安定性と前後プロセス依存性(新型不揮発性メモリ)
• MOCVDによる強誘電体PZT薄膜キャパシタの作製 : 成膜安定性と前後プロセス依存性

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