箱守 宗人 | 日本真空技術(株)筑波超材料研究所

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概要

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関連著者

• 森田 正

  株式会社 アルバック 筑波超材料研究所

• 森田 正

  日本真空技術(株)筑波超材研

• 倉内 利春

  日本真空技術(株)筑波超材研

• 箱守 宗人

  日本真空技術(株)筑波超材料研究所

• 倉内 利春

  日本真空技術 (株) 超材料研究所

• 山本 直志

  日本真空技術(株)筑波超材料研究所

• 三沢 俊司

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• 山本 直志

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• 松浦 正道

  日本真空・超材研

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• 稲川 幸之助

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  日本真空技術 (株) 超材料研究所

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著作論文

• 誘導結合高周波プラズマ支援多元マグネトロンスパッタ法を用いたTiO_2/SiO_2多層膜の作製
• 真空蒸着およびスパッタによるAl膜の形成と評価

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