蒸着重合法による抗菌性ポリイミド薄膜の作製

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概要

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• 日本真空協会の論文
• 2004-03-20

著者

• 高橋 善和

  (株)アルバック筑波超材料研究所

• 入倉 鋼

  (株)アルバック筑波超材料研究所

• 長谷川 吉夫

  (株)アルバック筑波超材料研究所

• 高橋 善和

  (株)アルバック半導体技術研究所

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