楊 一新 | 日本真空技術(株) 超材研
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概要
関連著者
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楊 一新
日本真空技術株式会社筑波超材料研究所
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楊 一新
日本真空技術(株) 超材研
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日本真空技術(株)
著作論文
- 流路切り替え法によるガス放出速度測定
- 各種表面処理ステンレス鋼の昇温脱離特性
- XHVスループット装置を用いたステンレス鋼チェンバーからのガス放出特性
- プラズマCVD法によるハードディスクDLC保護膜の作製