石川 道夫 | 日本真空技術(株)

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著作論文

• ホロー型RFカソードを用いた高密度カーボン膜の作成
• CoCrTa/Cr, CoCrPtB/Cr媒体の磁性膜への酸素添加効果
• プラズマCVD法によるハードディスクDLC保護膜の作製

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