池田 智 | 日本真空技術(株)
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概要
関連著者
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池田 智
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著作論文
- ロングスロースパッタ法により作製したパーマロイ膜のMR特性
- スピンバルブ膜の特性に及ぼす成膜条件の影響
- LTS法スパッタ電圧変化によるNiFe膜のMR特性変化
- ホロー型RFカソードを用いた高密度カーボン膜の作成