LTS法スパッタ電圧変化によるNiFe膜のMR特性変化

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概要

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• 1996-09-01

著者

• 池田 智

  日本真空技術(株)

• 小松 孝

  日本真空

• 池田 智

  日本真空 千葉超材研

• 鈴木 寿弘

  日本真空 千葉超材研

• 小松 孝

  日本真空 千葉超材研

• 中村 久三

  日本真空 千葉超材研

• 鈴木 寿弘

  日本真空技術(株)

• 中村 久三

  日本真空技術(株) 超材研

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