液晶ディスプレイ用ITO透明導電膜の技術現況 (レアメタル--技術と市場の最前線) -- (薄膜技術・タ-ゲット・スパッタリング装置)

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概要

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著者

• 中村 久三

  日本真空技術(株) 超材研

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