谷 典明 | 日本真空技術(株) 超材研

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• 谷 典明

  日本真空技術(株) 超材研

• 谷 典明

  日本真空技術 (株) 超材料研究所

• 谷 典明

  日本真空技術株式会社研究所

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  日本真空技術(株)

• 中村 久三

  日本真空技術(株) 超材研

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  日本真空・超材研

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  日本真空技術(株) 千葉超材研

• 西岡 浩

  アルバック半導体技術研究所

• 鄒 紅〓

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著作論文

• 強誘電体スパッタ薄膜の組成制御および高速成膜技術
• CoCrTa/Cr, CoCrPtB/Cr媒体の磁性膜への酸素添加効果
• プラズマCVD法によるハードディスクDLC保護膜の作製
• スパッタ法による高密度磁気記録媒体

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