強誘電体スパッタ薄膜の組成制御および高速成膜技術
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概要
著者
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大沢 明
日本真空技術株式会社研究所
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鄒 紅〓
日本真空技術株式会社超材料研究所
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西岡 浩
日本真空技術株式会社超材料研究所
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谷 典明
日本真空技術株式会社研究所
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西岡 浩
アルバック半導体技術研究所
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鄒 紅〓
株式会社アルバック半導体技術研究所
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谷 典明
日本真空技術(株) 超材研
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鄒 紅〓
日本真空技術 (株)
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谷 典明
日本真空技術 (株) 超材料研究所
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