表面処理
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概要
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表面処理には広義の意味ではエッチングも含まれるが, 大きくは素材への成膜による改善と, 素材そのものの性質を変える表面改質の2つとみてよい.両方法とも真空技術が利用され, 処理することによる付加価値の増大を伴い, 工業的に広く応用されている.成膜にはPVD (物理蒸着) とCVD (化学蒸着) とがある.PVDは真空蒸着, イオンプレーティング, スパッタに大別され, さらにそれらの中で個々の手法に枝分れしている。CVDも高温CVD, プラズマCVD, レーザCVD, MO CVDなどがある.表面改質としてはイオン窒化, イオン浸炭, イオン注入などに真空技術が応用されている.ここでは, いわゆる構造材料への応用を中心とした表面処理技術の進歩について眺めてみたい.
- 日本真空協会の論文
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