巻取方式マグネトロンプラズマ化学蒸着によるダイヤモンド状炭素膜の形成とその特性
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概要
著者
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稲川 幸之助
日本真空技術株式会社
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日比野 直樹
日本真空技術株式会社
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銭谷 利宏
日本真空技術株式会社
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太田 賀文
日本真空技術株式会社
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稲川 幸之助
日本真空技術(株) 千葉超材料研究所
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稲川 幸之助
日本真空技術 (株) 超材料研究所
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太田 賀文
日本真空技術(株)
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