ステンレス鋼に成膜した真空材料としてのTiN膜の特性と評価
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概要
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- 1995-09-20
著者
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塚原 園子
アルバックテクノ(株)ケミカルセンター
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斎藤 一也
日本真空技術株式会社
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佐久間 泰
ダイゴールド株式会社
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斎藤 一也
(株)アルバック筑波超材料研究所
-
斉藤 一也
日本真空技術 筑波超材研
-
塚原 園子
産業技術総合研究所
-
塚原 園子
日本真空技術(株)
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佐藤 勝
ダイゴールド株式会社
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池田 佳直
日本真空技術株式会社筑波超材料研究所
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西浦 正満
ダイゴールド株式会社
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大石 政治
ダイゴールド株式会社
-
池田 佳直
日本真空(株)筑波超材研
-
塚原 園子
日本真空技術 筑波超材研
-
塚原 園子
日本真空技術
-
大石 政治
タイゴールド株式会社
-
斎藤 一也
日本真空技術 (株) 超材料研究所
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