圧力計測・校正用極高真空装置の試作とそのガス放出特性
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概要
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- 1998-03-20
著者
-
塚原 園子
アルバックテクノ(株)ケミカルセンター
-
斎藤 一也
(株)アルバック筑波超材料研究所
-
一村 信吾
電子技術総合研究所
-
斉藤 一也
日本真空技術 筑波超材研
-
斉藤 一也
日本真空(株)筑波超材研
-
一村 信吾
産業技術総合研究所
-
国分 清秀
電子技術総合研究所
-
国分 清秀
電総研
-
塚原 園子
産業技術総合研究所
-
平田 正紘
電子技術総合研究所
-
一村 信吾
工業技術院電子技術総合研究所 極阪技術部
-
一村 信吾
電子技術総合研究所極限技術部
-
平田 正鉱
電子技術総合研究所
-
塚原 園子
日本真空(株)筑波超材研
-
池田 佳直
日本真空(株)筑波超材研
-
塚原 園子
日本真空技術 筑波超材研
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