紫外光分解反応を用いた減圧・高濃度オゾンガス分解装置
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概要
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We have developed a high efficiency ozone killer for reduced pressure and high concentration ozone using ultra-violet (UV) light irradiation to ozone gas. The highly concentrated ozone gas (∼100%) of 30-110 Pa with a flow rate of 50 sccm† can be decomposed to the concentration as low as 5% by UV light (200 nm-300 nm, 15 mW/cm2) irradiation. However, the residual ozone gas concentration increases the supplied ozone flow rate, since ozone molecule must stay in the ozone killer to absorb a UV photon. The photo-type ozone killer can be practically applied to actual processes by optimizing the dimension of the killer for a given pressure and gas flow rate.
- 日本真空協会の論文
- 2009-04-20
著者
-
野中 秀彦
産業技術総合研究所計測フロンティア研究部門
-
一村 信吾
産業技術総合研究所計測フロンティア研究部門
-
亀田 直人
株式会社 明電舎
-
西口 哲也
株式会社 明電舎
-
森川 良樹
株式会社 明電舎
-
花倉 満
株式会社 明電舎
-
一村 信吾
産業技術総合研究所
-
一村 信吾
産業技術総合研
-
一村 信吾
工業技術院電子技術総合研究所 極阪技術部
-
亀田 直人
株式会社明電舎
-
西口 哲也
株式会社明電舎
-
森川 良樹
株式会社明電舎
-
花倉 満
株式会社明電舎
-
野中 秀彦
産業技術総合研究所
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