高濃度オゾンガスの局所リアルタイム濃度測定法の開発
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概要
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A local and real-time concentration measuring method for high concentration ozone gas has been developed. The method employs Quadrupole Mass Spectroscopy (QMS) calibrated by low-temperature Thermal Desorption Spectroscopy (TDS). It was impossible to estimate the local ozone concentration by sampling the exhaust gas from the evacuation line. Using the passivated line, ozone concentration at a desired sampling point could be measured directly by the present method. The usefulness of the method was demonstrated by measuring ozone concentration at two particular points in oxidation chamber to be 23% and 40%.
- 日本真空協会の論文
- 2005-06-20
著者
-
野中 秀彦
産業技術総合研究所計測フロンティア研究部門
-
一村 信吾
産業技術総合研究所計測フロンティア研究部門
-
西口 哲也
株式会社 明電舎
-
二瓶 好正
東京理科大学総合研究機構
-
二瓶 好正
東京理科大学
-
一村 信吾
産業技術総合研究所
-
一村 信吾
産業技術総合研
-
佐藤 陽亮
東京理科大学理工学部
-
一村 信吾
工業技術院電子技術総合研究所 極阪技術部
-
西口 哲也
株式会社明電舎
-
二瓶 好正
東京理科大学理工学部
-
野中 秀彦
産業技術総合研究所
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