プラズマ計測における水晶振動子センサーバイアス電圧依存性
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
Quartz sensor (Q-sensor) measurement, which can detect the change in gas composition in plasmas, was investigated with varying bias voltage near the sensor. It was found that the change in the Q-sensor output by hydrogen (H2) plasmas depends on bias voltages. In addition, their bias voltage dependences were similar to those by Langmuir probe measurement. Judging from the comparison to the results by Langmuir probe measurement, the Q-sensor output change measured at positive and negative bias voltages correlated to current to the Q-sensor bias electrode and positive ion density in H2 plasmas, respectively. Above results indicated that Q-sensor measurement can obtain information on ion and electrons in H2 plasmas with varying bias voltages near the Q-sensor.
著者
関連論文
- 海洋酸性化がサンゴ礁域の石灰化生物に及ぼす影響
- 蛍光X線分析法による宝石サンゴの炭酸塩骨格中における微量元素の分布の測定
- キャピラリーによるイオンビームの収束
- 水晶振動子センサー計測によるアンモニアプラズマ中のガス分析
- 水晶振動子センサー計測によるプラズマ気相成分の空間分布測定
- 水晶振動子計測によるプラズマ気相成分分析
- 2種類の圧力測定子を用いた水素漏洩検知
- 二成分濃度測定法における温度・湿度の影響
- サンゴ骨格中の微量元素 : 海洋汚染の指標としての可能性
- 水晶振動子センサーによるシラン-水素混合気体中のシラン濃度比測定
- 紫外光励起オゾンによるシリコン酸化膜および化学気相成長法(CVD)-SiO_2膜の二段階酸化膜の界面特性評価
- 金属クラスター錯体イオンビームの発生とその応用
- VACUUM2008第30回真空展の報告
- VACUUM2007第29回真空展の報告
- 蛍光X線分析法による宝石サンゴの炭酸塩骨格中における微量元素の分布の測定
- 高濃度オゾンによるSiC高速酸化と酸化膜の特性評価
- 金属クラスター錯体を用いたクラスターイオン銃の開発
- 紫外光分解反応を用いた減圧・高濃度オゾンガス分解装置
- 高純度オゾン雰囲気中への紫外照射による化学気相堆積法(CVD)SiO_2膜の改質
- 励起状酸素を用いたシリコン低温酸化の大型基板酸化への適用
- 1,1,1,3,3,3-ヘキサメチルジシラザン(HMDS)とオゾンによるシリコン酸化膜成長 : 赤外吸収スペクトルによる解析
- UV光励起オゾンを用いたポリシリコンの低温酸化
- オゾン濃度その場測定によるUV光励起オゾン低温酸化プロセス中のO(^1D)の時間分布の解析
- オゾン光解離励起状態酸素原子によるシリコン低温酸化
- 高濃度オゾンガスの局所リアルタイム濃度測定法の開発
- 有機シリコンガスと高濃度オゾンガスの交互供給による300℃以下でのSiO_2絶縁膜作成
- 強磁性体を用いたトンネル接合型電子源の作成
- 遷移金属の酸化還元反応を用いた新しいオゾン分解法
- 水晶摩擦真空計を用いた2成分混合気体の濃度計測
- 石垣島安良崎のサンゴ骨格の酸素同位体比にみる冬期の水温変動と1988/1989年気候レジームシフト
- サンゴ骨格の炭素同位体比の変動要因に関する研究
- 骨格の酸素･炭素同位体比にみるサンゴ白化現象の記録
- 新しい低温酸化プロセスの開発 (特集 新世代を拓くプロセス技術)
- 高品位シリコン酸化膜のオゾンによる低温作製技術 (特集 半導体プロセス技術のイノベーション)
- 国内9ヶ所のダム湖における水温傾向の評価に関する予備的研究
- 平成19年度日本真空協会賞の審査経過と受賞業績紹介
- オークリッジ国立研究所滞在記
- プラズマ計測における水晶振動子センサーバイアス電圧依存性
- 石垣島安良崎のハマサンゴ骨格の酸素・炭素安定同位体比の環境プロキシとしての評価
- 金属クラスター錯体イオンビームの特性と二次イオン質量分析(SIMS)への応用
- プラズマ計測における水晶振動子センサーバイアス電圧依存性
- 薄膜シリコン太陽電池材料製造装置用シラン-水素濃度計の開発 (小特集 第52回真空に関する連合講演会プロシーディングス(1))
- 薄膜シリコン太陽電池材料製造装置用シランー水素濃度計の開発
- マルチビーム測深機による生活系海底ごみの試験撮影 : ワイドバンドマルチビーム測深機での生活系海底ごみの見え方 (特集 活用が進むマルチビーム測深機)