薄膜シリコン太陽電池材料製造装置用シランー水素濃度計の開発
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 2012-03-20
著者
-
近藤 道雄
産業技術総合研究所
-
松井 卓矢
独立行政法人産業技術総合研究所太陽光発電研究センター
-
鈴木 淳
産業技術総合研究所計測フロンティア研究部門
-
永井 武彦
産業技術総合研究所計測太陽光発電研究センター
-
鈴木 淳
産業技術総合研究所
-
黒河 明
独立行政法人産業技術総合研究所 エレクトロニクス研究部門先端シリコンデバイスグループ
-
近藤 道雄
産業技術総合研究所計測太陽光発電研究センター
-
黒河 明
産業技術総合研 計測フロンティア研究部門
-
松井 卓矢
産業技術総合研究所計測太陽光発電工学研究センター
-
永井 武彦
産業技術総合研究所計測太陽光発電工学研究センター
関連論文
- 海洋酸性化がサンゴ礁域の石灰化生物に及ぼす影響
- 25pZB-4 荷電粒子線照射による水素化アモルファスシリコンの光伝導度変化2(放射線物理(イオン-固体相互作用・放射線損傷・核反応),領域1,原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理)
- 太陽電池用薄膜シリコン系材料の結晶成長(太陽電池材料の結晶工学:結晶成長を中心に)
- シリコン系太陽電池の高効率化・量産化を担うプラズマ技術の最前線
- 水晶振動子センサー計測によるアンモニアプラズマ中のガス分析
- 水晶振動子センサー計測によるプラズマ気相成分の空間分布測定
- 水晶振動子計測によるプラズマ気相成分分析
- 2種類の圧力測定子を用いた水素漏洩検知
- 二成分濃度測定法における温度・湿度の影響
- サンゴ骨格中の微量元素 : 海洋汚染の指標としての可能性
- 水晶振動子センサーによるシラン-水素混合気体中のシラン濃度比測定
- 金属クラスター錯体イオンビームの発生とその応用
- 蛍光X線分析法による宝石サンゴの炭酸塩骨格中における微量元素の分布の測定
- 超伝導検出器を搭載した飛行時間質量分析器の開発
- シリコン系薄膜製膜技術の現状と展望
- PECVD法による微結晶シリコン薄膜形成過程とデバイス応用 (アモルファス半導体と関連物質--乱れた系、アモルファス半導体、微結晶半導体 特集号) -- (4.微結晶シリコン)
- 分光エリプソメトリーおよび赤外分光によるSi薄膜表面のその場観察
- 薄膜微結晶シリコン太陽電池材料における表面界面の諸問題
- プラズマCVDを用いた低温ポリシリコンの高品質化と高速堆積技術
- プラズマCVDを用いた低音ポリシリコンの高品質化と高速堆積技術
- 微結晶シリコンの成長過程と光安定性
- 微結晶シリコン系薄膜の成長プロセスと物性
- 29p-E-7 プラズマCVD法による微結晶シリコン薄膜作製における界面制御
- 13p-DC-9 a-Si:Hにおける発光寿命分布の発光エネルギー依存性
- 23pRH-3 水素化アモルファスシリコン半導体の放射線誘起電気伝導(23pRH 放射線物理(イオンビーム照射効果・阻止能),領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理))
- 飼育実験に基づくサンゴ骨格中の微量元素変動 (総特集 バイオミネラリゼーションと石灰化--遺伝子から地球環境まで) -- (造礁サンゴ)
- サンゴ骨格の酸素同位体比についての飼育実験による検討 (総特集 バイオミネラリゼーションと石灰化--遺伝子から地球環境まで) -- (造礁サンゴ)
- 水槽飼育実験による造礁サンゴ骨格の環境指標研究 (特集:生物鉱化作用と地球環境)
- 産総研地球化学標準物質JCp-1(サンゴ), JCt-1(シャコガイ)の共同分析結果
- 危険化学物質による環境汚染(その3)ミクロネシア連邦ポンペイ島における船底塗料による海洋汚染の歴史的変遷--サンゴ骨格中の銅とスズを指標として
- 海洋汚染指標としてのサンゴ骨格中の重金属元素
- シリコン酸化膜の構造遷移層の密度分布解析
- 2種類の圧力計による大気圧O_2/O_3混合ガスのO_3濃度計測
- 遷移金属の酸化還元反応を用いた新しいオゾン分解法
- 水晶摩擦真空計を用いた2成分混合気体の濃度計測
- シリコン結晶薄膜太陽電池 (特集2 未来を拓く太陽電池)
- 微結晶シリコン太陽電池の高効率・低コスト化技術 (特集 高効率・低コスト薄膜太陽電池の開発)
- 国内9ヶ所のダム湖における水温傾向の評価に関する予備的研究
- アモルファスシリコン太陽電池 (入門:先端技術開発)
- 気体中の水晶振動子のインピーダンスと周波数の圧力依存性の比較
- プラズマ計測における水晶振動子センサーバイアス電圧依存性
- 太陽電池研究開発プロジェクト
- 石垣島安良崎のハマサンゴ骨格の酸素・炭素安定同位体比の環境プロキシとしての評価
- 金属クラスター錯体イオンビームの特性と二次イオン質量分析(SIMS)への応用
- シリコンのオゾン酸化
- 定量オージェ分光法の進展II : 定量分析への理論的アプローチ
- 25pRA-9 水素化アモルファスシリコン半導体の陽子線照射に伴うゼーベック係数変化(25pRA 放射線物理(固体との相互作用・クラスター),領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理))
- プラズマ計測における水晶振動子センサーバイアス電圧依存性
- サンゴ骨格の炭素同位体比の変動要因に関する研究
- 石垣島安良崎のサンゴ骨格の酸素同位体比にみる冬期の水温変動と1988/1989年気候レジームシフト
- サンゴ骨格中の微量元素 : 海洋汚染の指標としての可能性
- 微結晶シリコン太陽電池--小さな結晶でも高効率 (特集 機能に富んだ材料シリコン)
- 産総研地球化学標準物質JCp-1(サンゴ),JCt-1(シャコガイ)の共同分析結果(サンゴ年輪と低緯度の海洋環境)
- 21aEB-1 不純物ドープされた水素化アモルファスシリコン半導体のイオン照射による電気伝導度変化(21aEB 放射線物理(照射効果),領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理))
- 太陽電池と低炭素社会への展望(低炭素・循環型社会を先導するGSC-持続可能な社会を目指す化学技術の過去・現在・未来-)
- 薄膜シリコン太陽電池材料製造装置用シラン-水素濃度計の開発 (小特集 第52回真空に関する連合講演会プロシーディングス(1))
- 薄膜シリコン太陽電池材料製造装置用シランー水素濃度計の開発
- 造礁サンゴ類の石灰化機構と地球環境変動に対する応答 (「海の研究」特集号 地球環境変動と造礁サンゴ(2))
- Long-term culture experiment of Porites under light-controlled conditions: : Analyses of skeletal δ13C and photosynthetic parameters
- 造礁サンゴ類の石灰化機構と地球環境変動に対する応答(地球環境変動と造礁サンゴ II,「海の研究」特集号)
- 赤外放射光を用いた宝石サンゴ骨軸の組織構造解析
- 水晶振動子型水素漏洩検知器における温度の影響とその補正方法