シリコン系太陽電池の高効率化・量産化を担うプラズマ技術の最前線
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概要
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太陽電池は環境エネルギー問題だけでなく経済問題の解決の切り札としても注目を集めている.シリコン系太陽電池は資源の環境安全性,豊富さ,コストなどの点から現在から将来にわたって最も有望な太陽電池と考えられているが,そのなかでプラズマ技術が重要なカギを握っている.一般的な結晶シリコンにおける水素パッシベーション技術,表面エッチングによる反射低減,HIT型と呼ばれる薄膜アモルファスシリコンの極薄層を利用した高効率化技術,薄膜シリコンにおける製膜技術と,多様な領域でプラズマは用いられている.本解説では,それぞれのデバイスの中で果たしているプラズマ技術について専門外の読者にもわかりやすく解説した.
- 2009-08-25
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