シリコンのオゾン酸化

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概要

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• 日本真空協会の論文
• 2001-08-20

著者

• 黒河 明

  独立行政法人産業技術総合研究所 エレクトロニクス研究部門先端シリコンデバイスグループ

• 黒河 明

  独立行政法人産業技術総合研究所

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