黒河 明 | 独立行政法人産業技術総合研究所

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概要

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• 同名の論文著者
• 独立行政法人産業技術総合研究所の論文著者

関連著者

• 黒河 明

  独立行政法人産業技術総合研究所

• 小林 太吉

  ブイピイアイ(株)

• 北條 久男

  バキュームプロダクツ株式会社

• 伊藤 美香

  独立行政法人産業技術総合研究所

• 寺内 信哉

  独立行政法人産業技術総合研究所

• 黒河 明

  産業技術総合研究所計測フロンティア研究部門

• 黒河 明

  独立行政法人産業技術総合研究所 エレクトロニクス研究部門先端シリコンデバイスグループ

著作論文

• シリコンのオゾン酸化
• 気体中の水晶振動子のインピーダンスと周波数の圧力依存性の比較
• 気体粘性計測用振動子のオゾンガス暴露による周波数-圧力特性の変化
• 気体粘性計測用振動子のオゾンガス暴露による周波数-圧力特性の変化

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