ガリウム収束イオンビームを用いたサブミクロン二次イオン質量分析装置による無機マイクロカプセルの三次元分析(<特集>表面・界面・薄膜と分析化学)
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概要
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ガリウム収束イオンビームを一次ビームとするサプミクロンSIMSにより, 内部に微細な構造を有する微粒子の三次元分析を行った.試料として, 粒径約0.03μmのTiO_2微粒子を壁厚約0.1μmのSiO_2で内包した直径2〜3μmの球形マイクロカプセルを用いた.高密度(1A/cm^2程度)かつ微細(直径0.1μm程度)な収束イオンビームを用いることにより, 顕微視野内でマイクロカプセルを変形させることなく切断し, 断面のSi^+及びTi^+の二次イオン像を取得した.二次イオン像よりマイクロカプセル構造が確認され, 又, 内部の空げきの存在が示された.更に, 単一粒子を一端から他端まで順次スバッタリングした際のイオン強度変化からも空げきの存在が確認されるとともに, 壁厚の評価も可能であることが示された.
- 社団法人日本分析化学会の論文
- 1991-11-05
著者
-
佐藤 仁美
(現)(株)日立製作所那珂工場
-
冨安 文武乃進
東京大学環境安全研究センター
-
二瓶 好正
東京大学生産技術研究所
-
冨安 文武乃進
東京大学生産技術研究所
-
二瓶 好正
東京理科大学総合研究機構
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