佐藤 仁美 | (現)(株)日立製作所那珂工場
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概要
関連著者
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佐藤 仁美
(現)(株)日立製作所那珂工場
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二瓶 好正
東京理科大学総合研究機構
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冨安 文武乃進
東京大学環境安全研究センター
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二瓶 好正
東京大学生産技術研究所
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冨安 文武乃進
東京大学生産技術研究所
著作論文
- ガリウム収束イオンビームを用いたサブミクロン二次イオン質量分析装置による無機マイクロカプセルの三次元分析(表面・界面・薄膜と分析化学)
- 収束イオンビ-ムとマルチチャネル並列検出系を用いたサブミクロンSIMS