蛍光X線ホログラフィー
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概要
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The X-ray fluorescence holography makes it possible to obtain direct three-dimensional atomic images around atoms emitting fluorescent X-rays. We describe here the history and theory of the X-ray fluorescence holography and show our experimental results. Using synchrotron radiation, we succeeded to measure the hologram of dopant in semiconductor wafer for 9 hours.
- 日本放射光学会の論文
- 1998-11-30
著者
-
後藤 俊治
理化学研究所X線自由電子レーザー計画推進本部
-
早川 慎二郎
広大工
-
後藤 俊治
高輝度光科学研究センター
-
後藤 俊治
Jasri
-
河合 潤
京都大学大学院工学研究科材料工学専攻
-
二瓶 好正
東京大学生産技術研究所
-
後藤 俊治
理研
-
早川 慎二郎
東京大学大学院工学系研究科応用化学専攻
-
早川 慎二郎
Department Of Applied Chemistry Hiroshima University
-
合志 陽一
東大工
-
合志 陽一
東京大学大学院工学系研究科応用化学専攻
-
合志 陽一
国立環境研究所
-
林 好一
京都大学大学院工学研究科材料工学専攻
-
林 好一
京都大学大学院工学研究科
-
河合 潤
京都大学大学院工学研究科
-
Hayashi K
Photodynamics Research Center Riken (institute Of Physical And Chemical Research)
-
合志 陽一
東大 大学院
-
早川 慎二郎
広島大 大学院工学研究科
-
二瓶 好正
東京大学生産技術研究所:(現)東京大学生産技術研究所
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