24aPS-41 Si(100)上でのオゾンによる酸化初期過程のSTM観察
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 2000-03-10
著者
-
黒河 明
産業技術総合研究所計測フロンティア研究部門
-
井藤 浩志
産業技術総合研究所計測フロンティア研究部門
-
中村 健
産業技術総合研究所
-
一村 信吾
電総研
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一村 信吾
産業技術総合研
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中村 健
電総研
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井藤 浩志
電総研
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黒河 明
電総研
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