オゾンによる水素終端シリコン酸化の面方位依存性
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概要
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- 1998-03-20
著者
-
黒河 明
産業技術総合研究所計測フロンティア研究部門
-
中村 健
産業技術総合研究所
-
一村 信吾
電子技術総合研究所
-
一村 信吾
産業技術総合研
-
黒河 明
電子技術総合研究所
-
中村 健
電子技術総合研究所
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