レーザを用いた圧力計測 : 2.レーザ生成イオンの新しい検出システム
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
A new ion counting system useful in pressure measurement with laser was constructed. The system is composed of a microchannel-plate intensifier, a CCD camera, a frame buffer, a particle counter, and a personal computer. By applying it to detection of acetone ions ionized by an excimer laser pulse, it was confirmed that the system has i) a high peak counting rate (exceeding 10<SUP>10</SUP> cps), ii) linear response to the number of incident ions, and iii) higher accuracy than conventional analog detection system. The detection limit in the pressure measurement by laser with the present system is also discussed, and the measurement in the pressure range between 10<SUP>-10</SUP> Pa and 10<SUP>0</SUP> Pa is projected.
- 日本真空協会の論文
著者
関連論文
- 3a-W-9 リボソーム膜レプリカ微細構造のSTM観察像
- STMによる有機物の研究
- 14a-DH-7 STMによるSi表面上での有機ガリウム分解反応の観察
- 走査型トンネル電子顕微鏡(STM)による有機分子の観察
- 走査型トンネル顕微鏡による表面観察
- XPSにおて発生分布の非対称に与える弾性散乱効果の検討
- レーザーイオン化による極高真空計測-分子密度計測の可能性-
- 極高真空におけるアトムカウンティング技術
- 4a-Q-11 MonohydrideおよびPolyhydride吸着Si(111)7×7表面の2次非線形光学特性
- 31a-WC-12 水素吸着によるSi(111)7x7表面の2次非線形光学特性の変化
- ピコ秒レーザによるガスイオン化特性と真空計測
- 極高真空装置の残留ガス特性 (活性粒子による新表層材料創製の研究)
- 極高真空のための新計測技術
- 30p-R-8 非共鳴多光子イオン化におけるレーザ波長効果
- 30p-R-8 非共鳴多光子イオン化におけるレーザ波長効果
- 〔工業技術院電子技術総合研究所〕研究設備紹介-17-レ-ザによる圧力計測のための極高真空装置
- レ-ザを用いた圧力計測-2-レ-ザ生成イオンの新しい検出システム
- レ-ザを用いた圧力計測-1-各種気体のレ-ザ・イオン化特性
- レーザによる極高真空計測の高感度化
- レーザ生成イオンの飛行時間型質量分析における検出効率の質量依存性
- 表面における光学非線形効果を用いる振動分光法
- 最近の超高真空技術の研究状況と展望(「超」を実現するテクノロジー)
- 逆磁場ピンチプラズマによるMoリミター損傷
- 銅ニッケル合金のイオン誘起粒界損傷
- マイクロ波イオン源特性評価 (第31回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス)
- イオンスパッタによるコ-ン形成の1つの可能性(Cuの動的観察) (第30回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス)
- 超高・極真空の今後の展望 (フォーラム「超高真空装置に関する技術の現状と将来」)
- 10. 低速イオンによる合金の表面損傷(鋼材の表面物性とその評価技術 : (II) 分析技術)
- 表面分析用試料加熱電源 (第22回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス)
- 第 9 章プラズマ-壁相互作用の研究表面分析法からのアプローチ
- 第 8 章ガス放出, トラッピング
- 低速希ガスイオンによる銅ニッケル合金の表面損傷 (極限材料の照射損傷特集)
- オ-ジェ電子分光 (スペクトロスコピ-特集号)
- 277 粒界偏析 P 量におよぼす Ni, Mo の影響 : Auger 分析による焼戻脆化現象の考察 II(靱性・破壊, 性質, 日本鉄鋼協会第 88 回(秋季)講演大会)
- 290 粒界偏析 P 量と焼戻脆化度 : Auger 分析による焼戻脆化現象の考察 I(焼戻脆性・高張力鋼, 性質, 日本鉄鋼協会 第 87 回(春季)講演大会)
- 真空における"極"の追究
- 高純度オゾンビームを用いたシリコン極薄酸化膜の形成と評価
- 小型マイクロ波イオン源のオゾンによる動作特性
- 高純度オゾンによるシリコン酸化膜の作製と評価
- 活性酸素発生用イオン源
- 第 3 章化学スパッタリング
- 第 2 章スパッタリング
- 第 1 章プラズマ壁相互作用一般
- クラスター特集号の企画にあたって
- 量子化機能素子特集号の企画にあたって
- レ-ザ-による粒子計測 (超高真空実験のために-7-圧力測定・気体流量測定-3-(真空技術講座))
- 第4回薄膜国際会議に参加して
- IMAの日米セミナ-
- 3p-Q-13 氷のX.P.S.
- 極高真空用材料の真空特性
- 強磁性体を用いたトンネル接合型電子源の作成
- 圧力計測・校正用極高真空装置の試作とそのガス放出特性
- 試料導入室における試料汚染要因
- オゾン分解反応計測用指向性質量分析器の指向特性
- 高純度オゾンビームを利用したシリコン酸化膜形成と表面クリーニング
- オゾンによる水素終端シリコン酸化の面方位依存性
- 第二高調波発生(SHG)によるシリコン表面の信号検出深さ
- 純オゾンビームの発生とシリコン極薄酸化膜作製への応用
- XHV '94会議報告
- 5a-TA-7 水晶振動子共振周波数の圧力依存性
- 表面構造の形成およびその場断層解析用真空装置の試作
- 表面電子分光断層解析装置によるオージェ電子分布の解析
- オゾンビームの運動量制御
- サマリー・アブストラクト
- マイクロ波イオン源特性評価
- サマリー・アブストラクト
- サマリー・アブストラクト
- サマリー・アブストラクト
- アブストラクト
- 逆磁場ピンチプラズマ装置を用いた壁材料評価
- レーザを用いた圧力計測 : 2.レーザ生成イオンの新しい検出システム
- レーザを用いた圧力計測 : 1.各種気体のレーザ・イオン化特性
- 逆磁場ピンチプラズマを用いたプラズマ壁相互作用試験装置
- 表面分析用試料加熱電源
- イオン誘起拡散と表面偏析
- 光応用技術 [I]
- イオンスパッタによるコーン形成の1つの可能性 (Cuの動的観察)
- 光による原子検出
- 超高真空装置に用いたステンレス鋼の特性
- レーザ・イオン化法による圧力計測のための極高真空装置の試作
- レーザによる粒子計測 (4)
- レーザによる粒子計測 (3)
- アブストラクト
- VAMAS-SCA-WG in Japan活動報告
- アブストラクト
- 超高/極高真空の実現と計測技術
- 9th International Conference on Quantitative Surface Analysis "QSA-9"参加報告
- 第9回定量表面分析国際会議(9th International Conference on Quantitative Surface Analysis)報告
- アブストラクト
- 表面断層解析用装置によるSi表面層の観察
- 銅ニッケル合金の高温スパッタリング : イオン誘起拡散と金属組織の役割
- 遷移金属炭化物エミッタ
- オージェ定量分析の基礎 : 背面散乱電子効果の補正を中心にして
- 第二高調波発生 (SHG) によるSi (111) 単結晶表面上の吸着種の研究
- イオンスパッタリング (イオン応用特集)
- 稀薄銅合金酸化薄膜中の組成変化
- 電総研電子ストレ-ジリングの真空系についての基本設計 (第21回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス)
- 超高真空実験のために-7-圧力測定・気体流量測定-3-(真空技術講座)
- 31a-G1-3 稀ガスの非共鳴多光子吸収イオン化(量子エレクトロニクス・原子・分子合同セッション)
- 31a-G1-3 稀ガスの非共鳴多光子吸収イオン化(量子エレクトロニクス・原子・分子合同セッション)