最近の超高真空技術の研究状況と展望(<特集>「超」を実現するテクノロジー)
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概要
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- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1993-01-05
著者
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- 最近の超高真空技術の研究状況と展望(「超」を実現するテクノロジー)
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- マイクロ波イオン源特性評価 (第31回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス)
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- 10. 低速イオンによる合金の表面損傷(鋼材の表面物性とその評価技術 : (II) 分析技術)
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- 第 9 章プラズマ-壁相互作用の研究表面分析法からのアプローチ
- 第 8 章ガス放出, トラッピング
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- 290 粒界偏析 P 量と焼戻脆化度 : Auger 分析による焼戻脆化現象の考察 I(焼戻脆性・高張力鋼, 性質, 日本鉄鋼協会 第 87 回(春季)講演大会)
- 第 4 章ブリスタリング
- 第 3 章化学スパッタリング
- 第 2 章スパッタリング
- 第 1 章プラズマ壁相互作用一般
- クラスター特集号の企画にあたって
- 量子化機能素子特集号の企画にあたって
- レ-ザ-による粒子計測 (超高真空実験のために-7-圧力測定・気体流量測定-3-(真空技術講座))
- 第4回薄膜国際会議に参加して
- IMAの日米セミナ-
- マイクロ波イオン源特性評価
- サマリー・アブストラクト
- アブストラクト
- 逆磁場ピンチプラズマ装置を用いた壁材料評価
- レーザを用いた圧力計測 : 2.レーザ生成イオンの新しい検出システム
- レーザを用いた圧力計測 : 1.各種気体のレーザ・イオン化特性
- 逆磁場ピンチプラズマを用いたプラズマ壁相互作用試験装置
- 表面分析用試料加熱電源
- イオン誘起拡散と表面偏析
- イオンスパッタによるコーン形成の1つの可能性 (Cuの動的観察)
- 光による原子検出
- 超高真空装置に用いたステンレス鋼の特性
- レーザ・イオン化法による圧力計測のための極高真空装置の試作
- レーザによる粒子計測 (4)
- レーザによる粒子計測 (3)
- アブストラクト
- アブストラクト
- 銅ニッケル合金の高温スパッタリング : イオン誘起拡散と金属組織の役割
- 遷移金属炭化物エミッタ
- 第二高調波発生 (SHG) によるSi (111) 単結晶表面上の吸着種の研究
- イオンスパッタリング (イオン応用特集)
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- 電総研電子ストレ-ジリングの真空系についての基本設計 (第21回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス)
- 超高真空実験のために-7-圧力測定・気体流量測定-3-(真空技術講座)