銅ニッケル合金の高温スパッタリング : イオン誘起拡散と金属組織の役割
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概要
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Structural and compositional modifications were investigated in the sputter-damaged surface layer of Cu-40 at%Ni alloy specimens at elevated temperatures by means of Auger electron spectroscopy (AES), X-ray microscopy (XMA), scanning electron microscopy (SEM) and electron channeling pattern (ECP) method. A long range depletion of copper was found in the layer beyond the trajectories of the primary ions. The apparent activation energy of the ion-enhanced volume diffusion was only 5.4±0.5 kcal/mol, suggesting that interstitial type diffusion was dominant. The active diffusion was also found along grain boundaries.
- 日本真空協会の論文
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