伴野 達也 | 東京大学大学院工学系研究科物理工学専攻
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概要
関連著者
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伴野 達也
東京大学大学院工学系研究科物理工学専攻
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伴野 達也
東京大学工学系研究科物理工学専攻
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齊藤 芳男
高エネルギー加速器研究機構加速器研究施設
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道園 真一郎
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道園 真一郎
東大工学部物理工学科
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岡本 昭夫
大阪府立産業技術総合研究所
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福谷 克之
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東大生産技術研
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電子技術総合研究所
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斎藤 一也
(株)アルバック筑波超材料研究所
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関根 重幸
産業技術総合研究所
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日電アネルバ株式会社研究開発本部
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塚田 勉
日電アネルバ株式会社研究開発本部
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中川 行人
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中川 行人
アネルバ
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関根 重幸
東京工業大学資源化学研究所
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関根 重幸
(独)産業技術総合研究所技術情報部門
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斉藤 一也
日本真空技術 筑波超材研
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文部科学省 高エネルギー加速器研究機構
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日電アネルバ(株)
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坂本 敏行
東京大学工学部
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道園 真一郎
高エネルギー物理学研究所
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土佐 正弘
金材技研 筑波支所
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中山 勝矢
真空技術者資格認定委員会
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塚田 勉
日電アネルバ (株)
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斎藤 一也
日本真空技術 (株) 超材料研究所
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伴野 達也
東京大学工学部
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中川 行人
日電アネルバ株式会社
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中川 行人
日電アネルバ
著作論文
- 〔座談会〕 これからの真空科学とその応用
- 超高真空仕様表面波励起高密度プラズマ発生装置の評価
- 超小型質量分析計の反応性スパッタリングプロセス計測への応用
- 小型質量分析計を用いたスパタリングプロセス中の粒子計測
- 高周波放電電極上の自己バイアス電位分布の研究
- ピエゾバルブを用いた流量計測機能付きガス導入装置の試作
- カ-ボニゼ-ションが及ぼす水素リサイクリング現象への効果
- 炭素系薄膜の光学定数 (第27回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和61年11月12日〜14日,大阪)
- カーボニゼーションが及ぼす水素リサイクリング現象への効果
- 炭素系薄膜の光学定数