金原 粲 | 東京大学工学部物理工学科
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概要
関連著者
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金原 粲
東京大学工学部
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金原 粲
東京大学工学部物理工学科
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東京大学工学系研究科物理工学専攻
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村上 志郎
日立金属 先端エレクトロニクス研
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日立金属 (株)
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中川 行人
日電アネルバ株式会社研究開発本部
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塚田 勉
日電アネルバ株式会社研究開発本部
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中川 行人
アネルバ株式会社装置事業部第一製品技術グループ
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アネルバ
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道園 真一郎
東大工学部物理工学科
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日電アネルバ(株)
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(株)ニコン
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(株)ニコン
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(株)ニコン
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日電アネルバ
著作論文
- 高周波放電電極上の自己バイアス電位分布の研究
- カーボニゼーションが及ぼす水素リサイクリング現象への効果
- 炭素系薄膜の光学定数
- 誘電体薄膜の構造及び特性に与えるイオンビーム照射の効果
- 薄膜の付着強度
- Niスパッタ膜の構造におよぼすバイアスの効果
- Arガス中で蒸着された銀薄膜の電顕観察
- 炭素基板上のチタン蒸着膜の力学的性質とその焼鈍による変化
- In/Si(111)表面超構造の仕事関数(速報) (第25回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和59年10月29日〜31日)